text: 20新世纪60时代以便融入核能发电、规模性集成电路芯片、激光器和航空航天等尖端科技的必须而发展趋势起来的精密度非常高的一种生产加工技术性。到80时代初，其最大生产加工规格精密度已达到10纳米技术（1纳米技术=0.001μm）级，粗糙度达1纳米技术，生产加工的最少规格达1μm，已经向氧化硅生产加工规格精密度的总体目标前行。氧化硅的超精密加工也称之为纳米技术加工工艺(nano-technology)。超精密加工是处在发展趋势中的创新教育综合性技术性。20新世纪50时代至80时代为技术性开辟期。20新世纪50时代末，出自于航空航天、国防安全等尖端科技发展趋势的必须，英国首先发展趋势了超精密加工技术性，开发设计了金刚石刀片超高精密钻削——单点金钢石钻削(Singlepointdiamondturning，SPDT)技术性，又称之为“微英尺技术性”，用以生产加工激光器核聚变反射镜片、战术导弹及载人飞船用曲面、非球面大中型零件等。
  关键有超高精密铣削、镜面玻璃切削和碾磨等。在超高精密车床边用历经细致碾磨的多晶硅金刚石车刀开展微量分析铣削,钻削薄厚仅1μm上下，常见于生产加工稀有金属原材料的曲面、非球面和平面图的反射镜片等高精密、表层高宽比光滑的零件。比如生产加工核聚变设备用的直径为800mm的非球面反射镜片，最大精密度达到0.1μm，粗糙度为Rz0.05μm。
  生产加工精密度以纳米技术，乃至最后以分子企业(分子晶格常数间距为0.1～0.2纳米技术)为总体目标时，钻削生产加工方式已不可以融入，必须依靠特种加工的方式，即运用机械能、光电催化能、能源或电磁能等，使这种动能跨越原子间的结合能，进而除去钢件表层的一部分原子间的粘附、融合或晶格常数形变，以做到超精密加工的目地。归属于这种生产加工的有机械设备化学抛光、电离无心插柳和离子注入、离子束曝射、粒子束生产加工、金属材料蒸镀和分子结构束外延性等。这种方式的特性是对表层化学物质除去或加上的量能够作极微小的操纵。可是要得到超高精密的生产加工精密度，仍依赖于高精密的生产设备和精准的自动控制系统，并选用超高精密掩膜作中介公司物。比如集成电路工艺集成电路芯片的印刷制版就是说选用离子束对掩膜上的光致抗蚀剂（见光刻）开展曝射，使光致抗蚀剂的分子在电子器件碰撞下立即聚合物(或溶解)，再用显影剂把聚合物过的或未聚合物过的一部分融解掉，做成掩膜。离子束曝射印刷制版必须选用操作台精度等级达到±0.01μm的超精密加工机器设备。
  北京精密机械加工的工艺，你了解吗？